分装过程中尘粒变化的影响因素探讨

通过对在线粒子实时监测系统采集的尘粒变化数据进行分析,探讨影响分装过程中尘粒变化的因素。对同批次分装时四个监测点和不同批次分装时同一监测点尘粒变化的数据进行分析,结果表明,在分装的前期准备、后期清场以及排除故障期间,粒子数变化明显。可见洁净间人员的数量及人员的行为是影响分装过程中尘粒变化的主要因素。